주요제품
특징
균일한 내부 미세구조를 가진 귀금속 타겟을 제공하여 스퍼터링 중 파티클 발생을 최소화하여 지속적이고 안정적인 필름 품질을 보장합니다.
- 고순도
- 고밀도
- 균일한 입자 구조
- 안정적인 스퍼터링 성능
- 좋은 필름 일관성
- 맞춤형 크기 및 접착
스퍼터링 타겟 재료 특성
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범주 |
설명 |
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재료 시스템 |
귀금속 증착 타겟 |
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제품 형태 |
평면 타겟 및 맞춤형 형상 |
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합금 시스템 |
고순도-금, 백금, 루테늄 소재 |
| 성능 |
신뢰할 수 있는 필름 품질과 접착력을 갖춘 안정적인 스퍼터링 공정 |
| 프로세스 |
물리적 기상 증착(PVD) |
| 치수 제어 |
제어된 공차로 정밀 성형 |
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공급 형식 |
표준 크기 및 장비{0}}기반 맞춤설정 |
다양한 산업 분야의 스퍼터링 타겟 재료 응용
- 반도체 및 IC:웨이퍼 제조 시 전도성 레이어, 배리어 레이어, 시드 레이어를 증착하는 데 사용됩니다.
- 자기 저장 매체:루테늄(Ru) 타겟은 주로 자기 기록 매체 및 HDD용 하부층 준비에 적용됩니다.
- 센서 및 MEMS:백금(Pt) 및 금(Au) 타겟은 센서 전극, MEMS 및 정밀 테스트 구성요소의 박막 증착에 적합합니다.{0}}
- 광전자공학 장치:광학 부품 및 발광 장치의 금속 코팅 및 전극 증착에 사용됩니다.-
- 정밀 전자 부품:많은 전자 부품의 표면 전도성, 보호 및 기능성 코팅에 대한 제조 요구 사항을 충족합니다.
인기 탭: 스퍼터링 타겟, 중국 스퍼터링 타겟 제조업체, 공급업체, 공장
