진공 웨이퍼 척

높은 평탄도, 균일한 흡착, 내화학성으로 깨끗한 이송이 가능합니다.

세라믹 진공 웨이퍼 척은 반도체 산업의 웨이퍼 박화 및 절단 공정에서 고정 도구로 널리 사용됩니다. 당사의 고순도-세라믹 부품은 매끄럽고 평평한 표면을 위해 정밀하게 연마되었습니다. 이는 포토리소그래피 및 웨이퍼 핸들링 응용 분야에 이상적이며 고정밀 처리 중에 안정성과 정확성을 보장합니다-. 고객 사양에 따라 다양한 맞춤형 척을 설계 및 제작할 수 있습니다.

구성: 알루미나, 실리콘 카바이드, 다공성 세라믹
사양: 주문형 맞춤형
응용 분야: 반도체 및 전자, 장비 및 기계, 의료 기기, 식품 및 농업
맞춤형 처리: 도면과 샘플을 기반으로 한 맞춤화 및 리버스 엔지니어링.

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제품 설명

웨이퍼 척으로도 알려진 세라믹 진공 웨이퍼 척은 반도체 제조 및 관련 정밀 가공 분야의 필수 구성 요소입니다. 고순도-, 고성능-세라믹 소재로 제작된 이 제품은 내부 채널이 상호 연결되어 균일한 기공 크기 분포가 특징입니다. 일반적으로 디스크- 모양이며 표면이 매우 평평하고 매끄러우며, 웨이퍼를 고정하고 고정하기 위해 미세하게 설계된 진공 채널과 흡입 구멍이 있습니다.

특징

높은 평탄도 및 평행도
균일하고 조밀한 구조, 고강도

통기성이 좋고 접착력이 일정함
정제하기 쉬움

기술 지원

고객 요구 사항에 따른 맞춤형 제품.
고객과 협력하여 제품 설계를 개선하고 성능을 향상하며 비용을 절감합니다.
제품 신청 추적 및 후속-서비스.

세라믹 전문성

Tessvida는 반도체 및 전자, 의료 기기, FPD/LED, 기계, 석유화학, 자동차 및 운송, 에너지 및 전력, 식품 및 농업 등 주요 산업에 서비스를 제공하는 TKS(Total Kit Solutions) 전문 기업입니다. 성숙한 공급망과 고급 공정(등압성 압착, 겔 주조, 건식 압착)을 통해 재료 준비, 성형, 소결부터 정밀 기계 가공 및 후처리에 이르기까지 엔드{1}}전체 역량을-제공합니다.

고순도 세라믹에 대한 심층적인 전문 지식과-자원 통합을 바탕으로 당사의 유연한 맞춤 서비스는 재료 선택부터 완제품 배송까지 고객 요구 사항을 정확하게 충족합니다.