제품 설명
이 루테늄 타겟 시리즈는{0}}고순도 루테늄 원료로 제조되어 아크 용융 및 결정립 미세화 공정을 통해 고밀도와 균일한 미세 구조를 달성합니다. 이 제품은 평면 타겟과 회전 타겟을 포함한 다양한 구성으로 제공되며 인듐{2}}결합/탄성체-결합 백플레이트 서비스를 지원하므로 DC 스퍼터링 애플리케이션에 적합합니다.
특징
- 고순도, 기존 등급, 초-순도 사양으로 제공됩니다.
- 경도가 높고 내마모성이 우수하며 내산화성, 내식성이 우수합니다.
- 매우 높은 융점과 뛰어난 고온 안정성-.
- 이 필름은 균일한 증착과 높은 밀도를 나타내므로 첨단 반도체 제조 공정에 적합합니다.
사양 및 모델
맞춤형 치수, 두께, 순도 또는 기술 사양에 대해서는 언제든지 문의해 주세요. 당사는 귀하의 스퍼터링 장비, 코팅 요구 사항 및 치수 사양을 기반으로 맞춤형 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.
| 분류 차원 | 제품 유형 | 핵심 기능 |
| 순도 등급 | 다양한 순도 등급 | 반도체, 디스플레이, 메모리 장치용{0}}범용입니다. |
| 제품 형식 | 원형 평면 루테늄 타겟 | 대부분의 스퍼터링 장비와 호환되는 표준 사양입니다. |
| 직사각형/블록-모양의 루테늄 타겟 | 넓은-면적 코팅 용도에 적합합니다. | |
| 회전 루테늄 타겟 | 대면적, 고효율-증착에 적합합니다. |
애플리케이션
- 반도체: DRAM/MIM 커패시터 전극, 상호 연결 확산 장벽 층.
- 고급 스토리지: 자기 스토리지, 위상-변화 메모리, 저항성 메모리.
- 집적 회로: 구리 상호 연결 시드 레이어, 배리어 레이어 및 논리 장치.
- 디스플레이 장치: 평면-패널 디스플레이, OLED 박막-필름 전극.
- 광전자공학 및 광전지: 광학 코팅, 광전지의 기능적 층.
- 정밀 전자 장치: 내마모성-전기 접점, 후막-저항기, 센서.
인기 탭: 루테늄 타겟, 중국 루테늄 타겟 제조업체, 공급업체, 공장
